グローブボックスと統合された革新的で
カスタマイズ可能なサーマルエバポレーターシステム
（株）高麗技研は、単なる装置メーカーではなく、顧客に合わせた研究ソリューションを提供します。グローブボックスと統合された当社のサーマルエバポレーターは、太陽電池、OLED、バッテリー、半導体、センサーなどの先端材料研究に最適化されています。外部からの汚染を防ぎ、安定したプロセス制御を実現し、精密な成膜品質を提供することで、高い再現性と信頼性のある結果を保証します
- 超高純度の不活性環境を実現することで、成膜プロセスの最適な安定性と卓越した薄膜品質を保証します。
- ±5%の厚さ均一度保障
- 4ソース同時成膜が可能
- サンプルローディングドアとメンテナンスドアの区分設計で効率性と安定性確保
KK-TE/GB-200-2M2O
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ApplicationPerovskite Solar Cell, OLED Display, Li-ion Battery, Semiconductor
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Process Chamber
- Glovebox Attach Type (Sliding Door)
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Glovebox
- Depending on your choice (2port ~ 4Port)
Expandable with Tee Ante-Chamber
- Depending on your choice (2port ~ 4Port)
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Sample Size
- Max 200mm x 200mm Sample
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Chamber Ultimate PressureBelow than 3.0 x 10⁻⁷ Torr
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Film Thickness Uniformity≤± 5% within 200mm * 200mm Sample
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Deposition Source
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Organic Source
- Effusion Cell Source (Low Temp & High Temp source)
- Boat Type Cell Source (W Boat + 1cc Crucible)
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Metal Source
- PBN Boat or W Boat Type Source
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Organic Source
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Deposition ControlTemp Control & Current Control
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Process Chamber Door
- Front Door for Sample Loading & Source Refill In Glovebox Condition
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Rear Side Door for Chamber Maintenance & Cleaning
(Without Destroying The Condition of The Glovebox)
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System ControlSystem Semiauto Control & Manual Control by PLC Based Touch Control
(10.5” Touch Panel)
: Auto Deposition, Auto Pumping, Auto Venting, Auto System Shut Down -
OptionalSystem Fully Automation Control by PC Control Available
Sample Heating (Up to 300 ℃) / Cooling (Down to 5 ℃) Available
個人情報収集及び利用案内
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本ウェブサイトは、高麗技研 株式会社（以下「当社」）の事業内容等を紹介するサイトです。
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■個人情報保護方針
当社は、以下のとおり個人情報保護方針を定め、個人情報保護の仕組みを構築し、全従業員に個人情報保護の重要性の認識と取組みを徹底させることにより、個人情報の保護を推進致します。
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■個人情報の管理
当社は、お客さまの個人情報を正確かつ最新の状態に保ち、個人情報への不正アクセス・紛失・破損・改ざん・漏洩などを防止するため、セキュリティシステムの維持・管理体制の整備・社員教育の徹底等の必要な措置を講じ、安全対策を実施し個人情報の厳重な管理を行ないます。
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(株)高麗技研 経営支援チーム TEL: +82-2-2087-3513 E-mail: accounting@glovebox.co.kr
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