Hybrid Chamber for Cathode, Anode, Electrolyte sampling

湿式 工程用 Glovebox、Double Sized

• Dim. 2,200 x 1,100 x 900mm
• スロットダイコーティング装備の内部統合設計
• 温度制御冷却システム
• Ante-Chamber統合型の真空オーブン
• 蒸着システムとT-Chamberで連結され大気汚染なくサンプル移送可能

PVD, Dry Process Deposition System

• 4 Metal Thermal Evaporator Chamber
• 3 Sputter Gun + 1 Metal Thermal Evaporator in a single Chamber
• Sample size Max. 150 x 150mm
• Co-deposition
  3 target material simultaneously sputtered onto a substrate in Hybrid deposition Chamber
  4 metal source simultaneously deposited onto a substrate in Thermal deposition Chamber
• Substrate Heating, max 300 °C for Thermal Chamber, max 500 °C for Hybrid Chamber
• Free bolt Sample Loading + Lock Cap & Cover Sputtering

• 全固体バッテリー 研究、開発用でグローブボックスシステムを開発
• 各、工程別Third-Party装置をIntegration。
• 工程別、研究開発の便利性を為、各グローブボックスをT型チャンバーで繋ぐ。
• Cathodeの構成物質（LiCoO₂, LiFePO₄及び LiNiMnCoO₂) の水分敏感性でグローブボックス内部の水分消去