AEROSPACE

Glovebox & Vacuum System

グローブボックスの先端技術、真空蒸着装備の優れた性能、そして宇宙環境模写装備の精密性は航空宇宙分野の研究開発、部品製造、性能評価に核心的な役割を果たします。 当社の装備は極限の宇宙環境を現実のように具現し、高品質の宇宙装備製作を支援し、革新的な宇宙探査技術の発展に寄与します。

グローブボックス活用分野

• 宇宙船部品の組み立てと研究: 汚染を徹底的に遮断し、精密な宇宙船部品の組み立てと核心研究を支援

• 電子機器製造: 静電気防止システムで敏感な宇宙用電子部品の安定した製造環境を提供

• 特殊素材研究: 極限の宇宙環境(温度、放射線など)に耐える特殊素材の研究開発に活用

航空宇宙研究開発用真空システム活用分野

• 高効率宇宙用の太陽光セル製作装備

  タンデムセル蒸着技術を基盤に宇宙発射体の安定的な電力供給のための軽量化、高効率太陽光セルを製作CIGS、CdTe、Perovskite などの様々な高性能太陽光セル製作適用装備を提供

• 宇宙船外装熱遮蔽反射膜製作装備

  宇宙放射線、紫外線、粒子状物質から発射体を保護する多層特殊メタル保護膜を蒸着装備提供 (Ion Beam Assisted)

• 宇宙用センサー及びマイクロ素子薄膜製作装備 温度、圧力、加速度、ジャイロスコープなど宇宙環境測定センサー及びマイクロ素子の機能性薄膜製作及び精密エッチング装備提供
  (PVD, PECVD, ALD, ALE, Ion Milling System)
• 相変化物質蒸着装置

  非晶質-結晶質の相変換が可能なGe₂Sb₂Te₅ の薄膜蒸着により放射能環境でも安定した構造を維持し、適応型光学システム、
  スマートヒートシールド、高感度センサーなどの製作用蒸着装置を提供 (Sputter, PLD System)

宇宙環境エネルギーハーベスティング装備分野
(高効率エネルギーソリューション)

• 実際の宇宙環境と類似した高真空及び極限環境を具現する装備を提供
• - 高真空環境: 10^-5 to 10^-8 Torr
• - 極限熱環境: -150°C to +150°C
• - 太陽光シミュレーション環境: 300~2500 nm 波長帯の Xenon Lamp 活用
• - 高エネルギー放射線環境 : 50keV 以上の Electron Source, AO Ion Source 提供