Single Cluster
防振グローブボックスはAFMやリソグラフィーなどの精密機器や顕微鏡をグローブボックス内で操作するための無振動環境を提供します 。-
分析から蒸着まで、
統合スマートソリューション -
R&D及び大量生産の
最適化応用システム -
無汚染処理と
連続工程